力能精密有限公司

產品

薄板承載盤

電洽

  • 高吸附力
  • 高平面度、平行度研磨
  • 孔隙率為20-25%
  • 表面粗糙度<2.0µm
  • 低電阻值抗靜電性佳多孔陶瓷
  • 厚度依客戶要求，常用0.7mm、1.0mm、2.0mm
  • 常用SiC及GaAs晶圓的承載、吸附、承載及清洗