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商品介紹2

大尺寸真空吸盤

  • 適大面積LCD面板氣浮移載、吸附、AOI檢測
  • 也適用切割及加工製程使用
  • 單片尺寸最大為500*500mm
  • 可依面板尺寸拼接而成,可達2*2m以上
  • 消除靜電材質可避免產品損壞
  • 底座材質:花崗岩石材、鋁擠型、鋁合金

Fork消靜電陶瓷手臂

  • 電阻值:105~109歐姆緻密陶瓷
  • 顏色:黑色
  • 可客製化各型式牙叉,材質穩定
  • 強度高,清靜電效果優異
  • 非一般氧化鋁陶瓷表面鍍ESD材質
  • 整體塊材都是消靜電均質陶瓷材料

薄板承載盤

  • 高吸附力
  • 高平面度、平行度研磨
  • 孔隙率為20-25%
  • 表面粗糙度<2.0µm
  • 低電阻值抗靜電性佳多孔陶瓷
  • 厚度依客戶要求,常用0.7mm、1.0mm、2.0mm
  • 常用SiC及GaAs晶圓的承載、吸附、承載及清洗

消靜電緻密陶瓷

  • 電阻值:105~109歐姆
  • 顏色:黑色
  • 尺寸客製化,最大厚度~30mm
  • 非一般表面鍍消靜電膜材質
  • 整體塊材都是消靜電材質,消靜電效果優異
  • 適合做為精密機組零件底座或需消除靜電元件

Chuck Table晶圓切割盤

  • 常用於晶圓切割、清洗使用
  • 多孔陶瓷抗電阻值:106~108歐姆
  • 表面研磨精度可達<5µm
  • 6"、8"、12"吋不鏽鋼底座晶圓切割盤
  • 高均勻性及高吸附力

非接觸傳輸氣浮條

  • 在正壓下可將產品氣浮抬升,達到懸浮非接觸移載作用
  • 常用尺寸:500*100*40、750*100*40及1000*100*40mm
  • 氣孔陶瓷為消靜電材質,避免產生靜電問題
  • 可依陶瓷孔徑控制耗氣量、供氣壓力及氣浮高度
  • 可設計正負壓氣道,提供平穩的移動氣流
  • 多孔陶瓷高溫燒結,不發塵、強度高、耐磨耗

Air Bearing空氣軸承

  • 孔徑小(<0.5µm),極高溫燒結,高強度
  • 可承受長期高壓下使用
  • 耗氣量極小,整體氣體剛性優異
  • 可穩定承載大重量(>100KG),不易產生氣鎚效應
  • 尺寸及形狀可客製化
  • 陶瓷材質不易刮磨傷、不發塵,適用於高精密機台


加熱式真空吸盤

  • 可同時真空吸附及加熱產品
  • 最高加熱溫度為150度
  • 加熱吸盤陶板可單獨維修更換
  • 吸盤尺寸可依客製化訂做
  • 吸附力強、操作簡易

多孔陶瓷管

  • 針對Roll-to-Roll製程應用設計
  • 用於光學膜應用、微奈米壓印技術、薄膜LCD製程
  • 適用各種薄膜製程,可做為連續式生產製程
  • 可達負壓吸附及正壓氣浮的雙重使用目的
  • 陶瓷管為消靜電材質
  • 長度可達~700mm,管徑~200mm