大尺寸真空吸盘
- 适大面积LCD面板气浮移载、吸附、AOI检测
- 也适用切割及加工制程使用
- 单片尺寸最大为500*500mm
- 可依面板尺寸拼接而成，可达2*2m以上
- 消除静电材质可避免产品损坏
- 底座材质：花岗岩石材、铝挤型、铝合金
Fork消静电陶瓷手臂
- 电阻值：105~109欧姆致密陶瓷
- 颜色：黑色
- 可客制化各型式牙叉，材质稳定
- 强度高，清静电效果优异
- 非一般氧化铝陶瓷表面镀ESD材质
- 整体块材都是消静电均质陶瓷材料
薄板承载盘
- 高吸附力
- 高平面度、平行度研磨
- 孔隙率为20-25%
- 表面粗糙度<2.0µm
- 低电阻值抗静电性佳多孔陶瓷
- 厚度依客户要求，常用0.7mm、1.0mm、2.0mm
- 常用SiC及GaAs晶圆的承载、吸附、承载及清洗
消静电致密陶瓷
- 电阻值：105~109欧姆
- 颜色：黑色
- 尺寸客制化，最大厚度~30mm
- 非一般表面镀消静电膜材质
- 整体块材都是消静电材质，消静电效果优异
- 适合做为精密机组零件底座或需消除静电元件
Chuck Table晶圆切割盘
- 常用於晶圆切割、清洗使用
- 多孔陶瓷抗电阻值：106~108欧姆
- 表面研磨精度可达<5µm
- 6＂、8＂、12＂寸不锈钢底座晶圆切割盘
- 高均匀性及高吸附力
非接触传输气浮条
- 在正压下可将产品气浮抬升，达到悬浮非接触移载作用
- 常用尺寸：500*100*40、750*100*40及1000*100*40mm
- 气孔陶瓷为消静电材质，避免产生静电问题
- 可依陶瓷孔径控制耗气量、供气压力及气浮高度
- 可设计正负压气道，提供平稳的移动气流
- 多孔陶瓷高温烧结，不发尘、强度高、耐磨耗
Air Bearing空气轴承
- 孔径小(<0.5µm)，极高温烧结，高强度
- 可承受长期高压下使用
- 耗气量极小，整体气体刚性优异
- 可稳定承载大重量(>100KG)，不易产生气锤效应
- 尺寸及形状可客制化
- 陶瓷材质不易刮磨伤、不发尘，适用於高精密机台
加热式真空吸盘
- 可同时真空吸附及加热产品
- 最高加热温度为150度
- 加热吸盘陶板可单独维修更换
- 吸盘尺寸可依客制化订做
- 吸附力强、操作简易
多孔陶瓷管
- 针对Roll-to-Roll制程应用设计
- 用於光学膜应用、微奈米压印技术、薄膜LCD制程
- 适用各种薄膜制程，可做为连续式生产制程
- 可达负压吸附及正压气浮的双重使用目的
- 陶瓷管为消静电材质
- 长度可达~700mm，管径~200mm
