大尺寸真空吸盤
- 適大面積LCD面板氣浮移載、吸附、AOI檢測
- 也適用切割及加工製程使用
- 單片尺寸最大為500*500mm
- 可依面板尺寸拼接而成，可達2*2m以上
- 消除靜電材質可避免產品損壞
- 底座材質：花崗岩石材、鋁擠型、鋁合金
Fork消靜電陶瓷手臂
- 電阻值：105~109歐姆緻密陶瓷
- 顏色：黑色
- 可客製化各型式牙叉，材質穩定
- 強度高，清靜電效果優異
- 非一般氧化鋁陶瓷表面鍍ESD材質
- 整體塊材都是消靜電均質陶瓷材料
薄板承載盤
- 高吸附力
- 高平面度、平行度研磨
- 孔隙率為20-25%
- 表面粗糙度<2.0µm
- 低電阻值抗靜電性佳多孔陶瓷
- 厚度依客戶要求，常用0.7mm、1.0mm、2.0mm
- 常用SiC及GaAs晶圓的承載、吸附、承載及清洗
消靜電緻密陶瓷
- 電阻值：105~109歐姆
- 顏色：黑色
- 尺寸客製化，最大厚度~30mm
- 非一般表面鍍消靜電膜材質
- 整體塊材都是消靜電材質，消靜電效果優異
- 適合做為精密機組零件底座或需消除靜電元件
Chuck Table晶圓切割盤
- 常用於晶圓切割、清洗使用
- 多孔陶瓷抗電阻值：106~108歐姆
- 表面研磨精度可達<5µm
- 6＂、8＂、12＂吋不鏽鋼底座晶圓切割盤
- 高均勻性及高吸附力
非接觸傳輸氣浮條
- 在正壓下可將產品氣浮抬升，達到懸浮非接觸移載作用
- 常用尺寸：500*100*40、750*100*40及1000*100*40mm
- 氣孔陶瓷為消靜電材質，避免產生靜電問題
- 可依陶瓷孔徑控制耗氣量、供氣壓力及氣浮高度
- 可設計正負壓氣道，提供平穩的移動氣流
- 多孔陶瓷高溫燒結，不發塵、強度高、耐磨耗
Air Bearing空氣軸承
- 孔徑小(<0.5µm)，極高溫燒結，高強度
- 可承受長期高壓下使用
- 耗氣量極小，整體氣體剛性優異
- 可穩定承載大重量(>100KG)，不易產生氣鎚效應
- 尺寸及形狀可客製化
- 陶瓷材質不易刮磨傷、不發塵，適用於高精密機台
加熱式真空吸盤
- 可同時真空吸附及加熱產品
- 最高加熱溫度為150度
- 加熱吸盤陶板可單獨維修更換
- 吸盤尺寸可依客製化訂做
- 吸附力強、操作簡易
多孔陶瓷管
- 針對Roll-to-Roll製程應用設計
- 用於光學膜應用、微奈米壓印技術、薄膜LCD製程
- 適用各種薄膜製程，可做為連續式生產製程
- 可達負壓吸附及正壓氣浮的雙重使用目的
- 陶瓷管為消靜電材質
- 長度可達~700mm，管徑~200mm
